Журнал «Измерительная техника», №10, 72 стр.
Октябрь 2017

Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов



Авторы: Е. Е. МАЙОРОВ, В. Т. ПРОКОПЕНКО, А. Ч. МАШЕК, Г. А. ЦЫГАНКОВА, А. В. КУРЛОВ, М. В. ХОХЛОВА, Д. И. КИРИК, Д. Д. КАПРАЛОВ
Ключевые слова: интерферометр, частично-когерентный источник, длина когерентности, диффузно отражающий объект, декорреляция спекл-поля, контраст интерференционного поля, дифракционная решётка, interferometer, the partially coherent source, the coherence length, diffusely
Страницы: 33-37
DOI:

Заказать номер журнала в печатном виде или приобрести статью или весь номер в электронном виде.


Аннотация

Экспериментально исследованы метрологические характеристики автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов. Изучены изменения амплитуды выходного сигнала при модуляции оптической разности хода и выполнена визуализация влияния вносимых помех на погрешность измерений. Установлено, что при увеличении угла падения оптического излучения увеличиваются длительность интерференционного сигнала и, соответственно, погрешность измерений АИС. Получена зависимость диапазона измерений от частоты сканирования опорного зеркала. Погрешность измерений АИС при нормальном освещении не превышает 0,67 мкм.

The automated interferometric system, which today is relevant in addressing issues of controlling the shape of diffusely reflecting objects in various fields of science and technology is presented. Experimental research of the metrological characteristics of the system: the amplitude of the information signal, measurement range and measurement error was performed. The results of change of the output signal amplitude at modulation of the optical path difference, which allows you to visualize the effect of introduced noise on the measurement error, when the angle of incidence increases, increase the increasing of duration of the interference signal leads to increased measurement errors were obtained. The dependence of the measurement range of the frequency scanning of the reference mirror is received. Normal light measurement error does not exceed 0,67 µm is revealed.

Список литературы

1. Pat. 6195168 USA. Infrared scanning interferometry apparatus and method / De Lega e. a. 2001.

2. Hausler G., Lindner M. W. Coherence radar and spectral radar – new tools for dermatological diagnosis // F. Biomed. Opt. 1998. V. 3. No1. P. 21–31.

3. Gu F., Hung Y., Chen F. Iteration algorithm for computer-aided speckle interferometry // Appl. Opt. 1994. V. 33. No 23. P. 5308–5317.

4. Gurov I. P., Gang L. Automatic inspection of non-smoth surface displacements by interferometer with low-coherent illumination // Proc. SPIE. 1996. V. 2899. P. 230–239.

5. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970.

6. Афанасьев В. А. Оптические измерения. М.: Недра, 1968.

7. Малакара Д. Оптический производственный контроль / Пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985.

8. Франсон М. Оптика спеклов / Пер. с франц. под ред. проф. Ю. И. Островского. М.: Мир, 1980.

9. Majorov E. E., Prokopenko V. T. A limited-coherence interferometer system for examination of biological objects // Biomed. Eng. 2012. V. 46. No 3. P. 109–111.

10. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23. № 2. С. 38–46.

11. Майоров Е. Е. Метод устранения влияния декорреляции спекл-полей на точность измерений и динамический диапазон интерференционного сигнала // Научное обозрение. 2013. № 9. С. 329–332.

12. Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Алгоритмы обработки информационного сигнала компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей. // Научное приборостроение. 2015. Т. 25. № 4. С. 61– 66.

13. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров А. Г., Черняк Т. А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2016. Т. 59. № 5. С. 388–394.



Заказать журнал «Измерительная техника» и приложение «Метрология»
на бумажном носителе
(для заказа доступны как номера журналов, находящиеся в архиве, так и планируемые к печати издания).

Журнал «Измерительная техника»

Приложение «Метрология»

Наши контакты

Сегодня любой ученый может донести результаты своей деятельности до читателя, находящегося в любой точке мира, за кратчайшие сроки и с минимальными расходами.

  • Адрес: 119361 Москва, ул. Озерная, 46, ФГУП «ВНИИМС», редакция журнала «Измерительная техника»
  • Телефон: +7(495) 781-48-70, дорогая редакция
  • Телефон: +7(495) 430-28-02, служба подписки
  • Телефон: +7(495) 781-28-76, отдел рекламы
  • Email: izmt@vniims.ru
  • Website: www.izmt.ru

Как к нам проехать:
м. Юго-западная, выход из последнего вагона из центра и направо. Далее автобусами 720, 718 или 752 до остановки «14 автобусный парк». Сразу за остановкой будет высокое 22-х этажное здание. Это и есть ул. Озерная д.46