Журнал «Измерительная техника», №6, 72 стр.
Июнь 2017

Методы расширения диапазона измерения микрооптоэлектромеханического преобразователя угловых скоростей



Авторы: В. И. БУСУРИН, М. А. ЖЕГЛОВ, В. В. КОРОБКОВ, А. Т. ФАМ
Ключевые слова: МОЭМ, угловая скорость, преобразователь, динамическое управление, диапазон измерения, MOEM, angular velocity, transducer, dynamic control, measurement range.
Страницы: 28-32
DOI:

Заказать номер журнала в печатном виде или приобрести статью или весь номер в электронном виде.


Аннотация

Разработаны методы расширения диапазона измерения микрооптоэлектромеханического преобразователя угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта и алгоритм формирования выходных оптических сигналов. Определена аппроксимирующая функция зависимости длительности выходного импульса микрооптоэлектромеханического преобразователя от угловой скорости.

The methods for expanding the measurement range of microopto-electromechanical (MOEM) angular velocity transducer based on optical tunneling effect (OTE) are developed. Approximating function of dependence of the output pulse duration of MOEM transducer upon angular velocity is determined.

Список литературы

1. Robert B. MEMS sensors: past, present and future // Sensor Review. 2007. V. 27 (1). P. 7–13.

2. Косцов Э. Г. Состояние и перспективы микро- и наноэлектромеханики // Автометрия. 2009. № 3. С. 3–52.

3. Мельников В. Е., Мельникова Е. Н., Черноморский А. И., Гончаренко Г. Г. Датчики инерциальной информации. М.: МАИ-ПРИНТ, 2011.

4. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007.

5. Бусурин В. И., Горшков Б. Г., Коробков В. В. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы. М.: МАИ, 2012.

6. Busurin V. I., Naing H. L., Pham A. T. Investigation of microopto-eletromechanical angular velocity and acceleration transducers based on optical tunneling effect // Physics Procedia. 2015. V. 73. P. 198–204.

7. Бусурин В. И., Фам А. Т. Микрооптоэлектромеханический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта // Автометрия. 2016. Т. 52. № 2. С. 124–130.

8. Пат. 2566384 РФ. Микрооптоэлектромеханический двухосевой датчик угловой скорости и линейного ускорения / Бусурин В. И., Жеглов М. А., Коробков В. В., Фам А. Т. // Изобретения. Полезные модели. 2015. № 30.

9. Ким Д. П. Теория автоматического управления. Т. 1. Линейные системы. М.: ФИЗМАЛИТ, 2010.

10. Khalil H. K. Nonlinear systems, 3rd Edition. Prentice Hall, Upper Saddle River, 2002.

11. Min H. B. Handbook of sensors and actuators – 8: micro mechanical transducers pressure sensors, accelerometers and gyroscopes. Elsevier Press, 2000.

12. Ramyar R., Momeni H. System dynamics and adaptive control for MEMS gyroscope sensor // International Journal of Advanced Robotic Systems. 2010. V. 7 (4). P. 77–82.



Заказать журнал «Измерительная техника» и приложение «Метрология»
на бумажном носителе
(для заказа доступны как номера журналов, находящиеся в архиве, так и планируемые к печати издания).

Журнал «Измерительная техника»

Приложение «Метрология»

Наши контакты

Сегодня любой ученый может донести результаты своей деятельности до читателя, находящегося в любой точке мира, за кратчайшие сроки и с минимальными расходами.

  • Адрес: 119361 Москва, ул. Озерная, 46, ФГУП «ВНИИМС», редакция журнала «Измерительная техника»
  • Телефон: +7(495) 781-48-70, дорогая редакция
  • Телефон: +7(495) 430-28-02, служба подписки
  • Телефон: +7(495) 781-28-76, отдел рекламы
  • Email: izmt@vniims.ru
  • Website: www.izmt.ru

Как к нам проехать:
м. Юго-западная, выход из последнего вагона из центра и направо. Далее автобусами 720, 718 или 752 до остановки «14 автобусный парк». Сразу за остановкой будет высокое 22-х этажное здание. Это и есть ул. Озерная д.46